膜厚測試儀是用于精確測量材料表面涂層、鍍層或薄膜厚度的精密儀器,覆蓋從納米到毫米級測量,廣泛用于半導體、汽車、電子、光學等行業(yè)。
膜厚測試儀根據測量原理的不同,主要分為以下幾種類型:
磁性法:適用于測量磁性基底上的非磁性涂層的厚度。通過測量磁場強度的變化來確定涂層的厚度。
渦流法:適用于測量非磁性基底上的涂層厚度。通過在探頭中產生高頻交流電,產生渦流,渦流的強度和相位變化與涂層的厚度有關,從而可以測量涂層的厚度。
超聲波法:通過發(fā)射和接收超聲波脈沖來測量涂層的厚度。超聲波在不同材料中的傳播速度不同,通過測量超聲波從涂層表面反射回來的時間,可以計算出涂層的厚度。
X射線熒光法(XRF):適用于測量非常薄的涂層,或者在不破壞涂層的情況下測量多層涂層的厚度。通過激發(fā)涂層中的元素發(fā)出X射線,然后分析這些X射線的能譜,可以確定涂層的厚度和成分。
光學干涉法:利用光在薄膜表面與基底反射產生的干涉現象,分析干涉光譜的反射率與折射率來計算厚度。此方法特別適合透明或半透明薄膜測量,對較薄金屬膜效果良好。
電解法:通過電解溶解涂層,根據電流消耗計算厚度,屬于破壞性檢測方法。主要用于實驗室中對精度要求不高的金屬鍍層分析。
放射測厚法:利用放射性同位素發(fā)射的粒子穿透涂層后的衰減程度測量厚度。適合高溫、高壓等特殊工業(yè)環(huán)境,但設備成本較高。